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行程(mm)

500x400x200

外形尺寸(mm)

850x1300x1550

金屬臺面尺寸（mm）

716X690

工作臺玻璃尺寸（mm）

565X465

重量(kg)

250

承重(kg)

20

X 、Y軸測量精度(μm)

2.5+L/200

Z軸測量精度(μm)

3.0+L/100

X、Y軸運(yùn)動(dòng)速度

0-200mm/S（任意選擇）

Z軸運(yùn)動(dòng)速度

0-100m/S(任意選擇)

重復(fù)精度（mm）

 0.002

操作方式

 軟件+搖桿

光柵尺

0.0005mm玻璃光柵

X、Y軸導(dǎo)軌

 臺灣“HIWIN”精密級線性導(dǎo)軌

Z軸導(dǎo)軌

 臺灣“HIWIN”精密級線性導(dǎo)軌

Z軸絲桿

臺灣“TBI”滾珠絲桿

軸承

日本原裝“NSK” 雙例組合向心球軸承

電機(jī)

日本“尼得科”交流同步伺服電機(jī)，定位精度≤0.001mm

攝像機(jī)

                                       130萬像素彩色高清數(shù)字相機(jī)（千兆網(wǎng)）

光源

輪廓光

 LED冷光源，球頂透射光實(shí)現(xiàn)平行光照射

表面光

四環(huán)八區(qū)LED冷光源，各區(qū)獨(dú)立操控，256級亮度程控可調(diào)

光學(xué)鏡頭

0.7-4.5X手動(dòng)變倍卡位鏡頭，1:6.5變倍比

放大倍率

光學(xué)放大倍率：0.7～4.5×；影像放大倍率：24～158X

軟件

SBK-CNC專用全自動(dòng)測量軟件

電腦

工控專用電腦

電源

220V/50Hz/3A

工作環(huán)境

溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%

影像儀專用桌

內(nèi)置開關(guān)電源、控制器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、電源控制開關(guān)、指示燈、急停開關(guān)、移動(dòng)滾輪